Art

J-GLOBAL ID：201402206328180242   Reference number：14A0272560

Resistivity-based modeling of substrate non-uniformity for low-resistivity substrate

低抵抗率基板用の基板不均一性の抵抗率利用モデリング

Author (4)： KANAMOTO Toshiki (Renesas Electronics Corp.) ,  INABA Hisato (Renesas Design Corp.) ,  CHIBA Toshiharu (Renesas Design Corp.) ,  OGASAHARA Yasuhiro (AIST)
Material： IEICE Electronics Express (Web)  (IEICE Electron Express (Web))
Volume： 11  Issue： 3  Page： 20130813-20130813 (J-STAGE)  Publication year： 2014 
JST Material Number： U0039A  ISSN： 1349-2543  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *electrical resistivity ,  *substrate(plate) ,  *heterogeneity ,  *modeling ,  doping ,  *impurity distribution ,  surface diffusion ,  noise(signal) ,  circuit design ,  LSI ,  noise immunity ,  noise generation ,  *noise measurement(signal) ,  current distribution
Semi thesaurus term： substrate noise

JST classification (1)： Materials of solid-state devices  (NC03020K)

Reference (13)：

• [1] M. D. Wilde, W. Meeus, P. Rombouts and J. V. Campenhout: IEEE J. Solid-State Circuits 41 [5] (2006) 1062.
• [2] D. Kosaka, M. Nagata, Y. Murasaka and A. Iwata: IEICE Trans. Fundamentals E90-A [12] (2007) 2651.
• [3] M. Nagata: IEICE Trans. Fundamentals E95-A [2] (2012) 430.
• [4] M. Nagata, J. Nagai, T. Morie and A. Iwata: IEEE Trans. Computer-Aided Design Integr. Circuits Syst. 19 [6] (2000) 671.
• [5] S. Kristiansson, F. Ingvarson, S. P. Kagganti, N. Simic, M. Zgrda and K. O. Jeppson: IEEE J. Solid-State Circuits 40 [9] (2005) 1797.

Terms in the title (4)： 低抵抗 ,  不均一性 ,  抵抗率 ,  モデリング