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J-GLOBAL ID：201402210459108749   Reference number：14A1136307

Improving accuracy in period measurement of gratings with multiple diffraction orders

多重回折次数の格子の周期測定での精度の改善

Author (2)： ICHIKAWA Hiroyuki (Ehime Univ., Matsuyama, JPN) ,  TODA Tomohiro (Ehime Univ., Matsuyama, JPN)
Material： Applied Optics  (Lasers, Photonics, and Environmental Optics)
Volume： 53  Issue： 24  Page： 5290-5293  Publication year： Aug. 20, 2014 
JST Material Number： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *diffraction grating ,  higher dimension ,  multiplex ,  *optical measurement ,  measurement accuracy ,  periodic structure ,  surface quality ,  nondestructive inspection ,  *optical diffraction

JST classification (2)： Optical devices in general  (BD06010L) ,  Optical instruments and techniques in general  (BD07010S)

Terms in the title (4)： 多重 ,  回折次数 ,  格子 ,  周期