Art

J-GLOBAL ID：201402218580644012   Reference number：14A0223730

プラズマイオン注入法によるナノカーボン粒子膜の形成とトライボロジー特性評価

Author (5)： SAWAI SHU (東大 工) ,  NAKAHARA YUYA (東大 工) ,  MATSUMOTO NAOHIRO (東大 工) ,  CHOI Junho (東大 工) ,  KATO TAKAHISA (東大 工)
Material： 日本トライボロジー学会トライボロジー会議予稿集(CD-ROM)
Volume： 2013  Issue： 春  Page： ROMBUNNO.E21  Publication year： May. 10, 2013 
JST Material Number： Y0047C  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： molecular cluster ,  nanostructure ,  particle ,  Carbon ,  *membrane and film ,  nano particle ,  *ion implantation ,  *tribology ,  characterization ,  thin film ,  Silver ,  wafer ,  nano-carbon ,  *particle film ,  *tribology characteristic ,  Ag thin film ,  carbon particle ,  film deposition ,  Si wafer
Semi thesaurus term： carbon particle ,  film formation ,  *plasma based ion implantation ,  silicon substrate

JST classification (3)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Lubrication in general  (QB02010S) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (5)： プラズマイオン注入法 ,  ナノカーボン ,  粒子膜 ,  トライボロジー特性 ,  評価