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J-GLOBAL ID：201402222169467433   Reference number：14A0293133

History of diamond-like carbon films - From first experiments to worldwide applications

ダイヤモンド状炭素膜の歴史 最初の実験から世界的な応用

Author (2)： BEWILOGUA Klaus (Fraunhofer Inst. for Surface Engineering and Thin Films IST, Braunschweig, DEU) ,  HOFMANN Dieter (AMG Coating Technologies, Hanau, DEU)
Material： Surface & Coatings Technology  (Surf Coat Technol)
Volume： 242  Page： 214-225  Publication year： Mar. 15, 2014 
JST Material Number： D0205C  ISSN： 0257-8972  Document type： Article
Article type： 文献レビュー  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *DLC film ,  diamond-like carbon ,  *chemical history ,  *utilization ,  global scale ,  carbon material ,  dopant ,  micro structure ,  mechanism ,  interlaminer peeling ,  compressive stress ,  amorphous carbon
Semi thesaurus term： growth mechanism ,  global ,  amorphous carbon

JST classification (2)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Carbon and its compounds  (YB02060D)

Terms in the title (5)： ダイヤモンド状炭素 ,  歴史 ,  実験 ,  世界 ,  応用