Art

J-GLOBAL ID：201402226783523337   Reference number：14A0657066

Irradiation of ionic liquid ion beams on silicon and glass substrates

シリコン基板とガラス基板上におけるイオン液体イオン・ビームの照射

Author (4)： TAKEUCHI Mitsuaki (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  HAMAGUCHI Takuya (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  RYUTO Hiromichi (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  TAKAOKA Gikan H. (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
Material： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
Volume： 315  Page： 234-239  Publication year： Nov. 15, 2013 
JST Material Number： H0899A  ISSN： 0168-583X  Document type： Article
Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (5)： シリコン基板 ,  ガラス基板 ,  イオン液体 ,  イオン ,  ビーム