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J-GLOBAL ID：201402231794923632   Reference number：14A0657030

Energy dependence of non-Rutherford proton elastic scattering spectrum for hafnium nitride thin film

窒化ハフニウム薄膜に関する非ラザフォード陽子弾性散乱のエネルギー依存性

Author (3)： GOTOH Yasuhito (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  OHUE Wataru (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  TSUJI Hiroshi (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
Material： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments and Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
Volume： 315  Page： 68-71  Publication year： Nov. 15, 2013 
JST Material Number： H0899A  ISSN： 0168-583X  Document type： Article
Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (5)： 窒化ハフニウム ,  薄膜 ,  陽子 ,  弾性散乱 ,  エネルギー依存性