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J-GLOBAL ID：201402256910086142   Reference number：14A0227435

Research on Superplastic Nano/Micro-forming

超塑性ナノ・マイクロ成形加工に関する研究

Author (1)： SAOTOME YASUNORI (東北大学金属材料研究所付属研究施設関西センター)
Material： 塑性と加工  (Journal of the Japan Society for Technology of Plasticity)
Volume： 54  Issue： 635  Page： 1033-1037 (J-STAGE)  Publication year： 2013 
JST Material Number： G0076A  ISSN： 0038-1586  CODEN： SOKAB  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *plastic working ,  *fine patterning ,  *solid state device ,  hybrid system(method)
Semi thesaurus term： amorphous alloy ,  *micro-nano device ,  mechanical working ,  *superplastic forming ,  *ultra-microfabrication ,  semiconductor process ,  assessment method

JST classification (2)： Special forming  (WC04040W) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (15)：

• 1) Chou, S.Y., Krauss, P.R., Zhang, W., Guo, L.J. & Zhuang, L. :J. Vac. Sci. Technol., B15(1997),2897-2904.
• 2) Saotome, Y. & Iguchi, N. :Proc. 22nd Japan Congress on Materials Research, 22(1979),7-12.
• 3) Bocharov,Y., Kobayashi, S. & Thomsen, E.G. :Trans ASME, B84(1962),491-496.
• 4) 宮川松男:精密工学会誌,52(1986),39-44.
• 5) Saotome, Y. & Inoue, A. :Proc. IEEE 7th Int. Conf. on MEMS, 7(1994),343-348.

Terms in the title (3)： 超塑性 ,  成形加工 ,  研究