Art

J-GLOBAL ID：201402265708423632   Reference number：14A1277591

A review of roll-to-roll nanoimprint lithography

ロールツーロールナノインプリントリソグラフィーの再調査

Author (4)： KOOY Nazrin (Universiti Sains Malaysia, Penang, MYS) ,  MOHAMED Khairudin (Universiti Sains Malaysia, Penang, MYS) ,  PIN Lee Tze (Universiti Sains Malaysia, Penang, MYS) ,  GUAN Ooi Su (Universiti Sains Malaysia, Penang, MYS)
Material： Nanoscale Research Letters (Web)  (Nanoscale Res Lett (Web))
Volume： 9  Issue： 1  Page： 9:320 (WEB ONLY)  Publication year： Dec. 2014 
JST Material Number： U7001A  ISSN： 1931-7573  Document type： Article
Article type： 文献レビュー  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *production method ,  *lithography ,  pattern formation ,  *compression forming ,  investigation ,  semiconductor process ,  throughput ,  roll to roll production method
Semi thesaurus term： roll to roll production method ,  reinvestigation

JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (1)： 調査