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J-GLOBAL ID：201402268732986558   Reference number：14A0904259

Breakthrough Achievement In Nanoimprint Lithography Using PFP Condensable Gas

PFP凝縮性ガスを用いたナノインプリントリソグラフィーにおけるブレークスルー達成

Author (8)： MATSUI Shinji (Univ. Hyogo, Hyogo, JPN) ,  HIROSHIMA Hiroshi (National Inst. of Advanced Sci. and Technol., Tsukuba, JPN) ,  HIRAI Yoshihiko (Osaka Prefecture Univ., Osaka, JPN) ,  NAKAGAWA Masaru (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MATSUI Shinji (JST-CREST, Tokyo, JPN) ,  HIROSHIMA Hiroshi (JST-CREST, Tokyo, JPN) ,  HIRAI Yoshihiko (JST-CREST, Tokyo, JPN) ,  NAKAGAWA Masaru (JST-CREST, Tokyo, JPN)
Material： Journal of Photopolymer Science and Technology  (フォトポリマー懇話会誌)
Volume： 27  Issue： 1  Page： 61-72  Publication year： 2014 
JST Material Number： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *lithography ,  *pattern formation ,  property ,  photopolymerizable resin ,  ultraviolet irradiation ,  photocrosslinking ,  template polymerization ,  surface roughness ,  coefficient of viscosity ,  *aliphatic fluorine compound ,  process simulation ,  throughput ,  gas ,  solubility parameter ,  photoresist ,  fron ,  ultraviolet curing resin ,  coefficient ,  transport coefficient ,  degree ,  computer application ,  utilization
Semi thesaurus term： *UV nanoimprint lithography ,  UV-curing resin ,  *nanopatterning formation ,  line-edge roughness ,  凝縮性ガス ,  high throughput ,  line width roughness ,  mold release property

JST classification (2)： Other reactions of polymer  (CG03040H) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Substance index (1)： HFC-245fa

Reference (60)：

• S. Y. Chou, P. R. Krauss, and P. J. Renstrom, Appl. Phys. Lett., 67 (1995) 3114.
• S. Y. Chou, P. R. Krauss, and P. J. Renstrom, Science, 272 (1996) 85.
• S. Y. Chou, P. R. Krauss, and P. J. Renstrom, J. Vac. Sci. Technol., B14 (1996) 4129.
• J. Haisma, M. Verheijen, K. van den Heuvel, and J. van den Berg, J. Vac. Sci. Technol., B14 (1996) 4124.
• M. Colburn S. Johnson, M. Stewart, S. damle, T. Bailey, B. Choi, M. Wedlake, T. Michaelson, S. V. Sreenivasan, J. Ekerdt, and C. G. Willson, Proc. SPIE, 3676 (1999) 379.

Terms in the title (3)： 凝縮性ガス ,  ナノインプリントリソグラフィー ,  ブレークスルー