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J-GLOBAL ID：201402268923228424   Reference number：14A0178657

薄膜分析のための重イオンRBS法の開発

Author (3)： YASUDA KEISUKE (若狭湾エネルギー研究セ) ,  ISHIGAMI RYOYA (若狭湾エネルギー研究セ) ,  NAKADA YOSHINORI (若狭湾エネルギー研究セ)
Material： 若狭湾エネルギー研究センター研究年報  (Annual Report of the Wakasa Wan Energy Research Center)
Volume： 15  Page： 39  Publication year： Oct. 2013 
JST Material Number： L6940A  Document type： Article
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (2)： 重イオン ,  開発