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J-GLOBAL ID：201402268984837229   Reference number：14A1315874

Ultra-precision nano-structure fabrication by amplitude control sculpturing method in elliptical vibration cutting

楕円振動切削で振幅制御彫刻法による超精密ナノ構造の製作

Author (4)： ZHANG Jianguo ,  SUZUKI Norikazu ,  WANG Yilong ,  SHAMOTO Eiji
Material： Precision Engineering  (Precis Eng)
Volume： 39  Page： 86-99  Publication year： Jan. 2015 
JST Material Number： A0734B  ISSN： 0141-6359  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： vibratory cutting ,  *nanometer process ,  *hardened steel ,  tool path ,  surface layer structure ,  *elliptical vibratory cutting
Semi thesaurus term： nano process

JST classification (1)： Special machining  (QC04000Y)

Terms in the title (6)： 楕円振動切削 ,  振幅制御 ,  彫刻 ,  超精密 ,  ナノ構造 ,  製作