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J-GLOBAL ID：201402284736136449   Reference number：14A1206506

60years of DLC coatings: Historical highlights and technical review of cathodic arc processes to synthesize various DLC types, and their evolution for industrial applications

DLCコーティングの60年:種々のタイプのDLCを合成する陰極アーク法における歴史的ハイライトと技術解説および産業応用のための進化

Author (1)： VETTER J.
Material： Surface & Coatings Technology  (Surf Coat Technol)
Volume： 257  Page： 213-240  Publication year： Oct. 25, 2014 
JST Material Number： D0205C  ISSN： 0257-8972  Document type： Article
Article type： 文献レビュー  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *DLC film ,  *ion plating ,  *technical history ,  utilization ,  carbon material ,  hydrogenation ,  optical property ,  electrical characteristic ,  resistance (endure) ,  microhardness ,  Elastic Modulus ,  medical material ,  tribology ,  Hydrogen ,  Nitrogen ,  silicon ,  boron ,  fluorine ,  phosphorus ,  alloying ,  metallic element ,  electrical conductivity ,  surface energy ,  carbon electrode ,  electrode ,  cathode ,  Friction ,  wear ,  abrasion resistance ,  *evaporated film ,  metal electrode ,  *vacuum arc deposition ,  amorphous carbon ,  modification ,  mechanical property ,  property
Semi thesaurus term： *cathodic arc deposition ,  biological material ,  resistance to environment ,  amorphous carbon

JST classification (2)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Carbon and its compounds  (YB02060D)

Terms in the title (9)： DLCコーティング ,  タイプ ,  DLC ,  陰極 ,  アーク ,  歴史 ,  ハイライト ,  産業応用 ,  進化