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J-GLOBAL ID：201402285030871908   Reference number：14A0527532

Development of removal technology for IPA (Isopropyl Alcohol) in exhaust gas by spraying removal solution

除去液を噴霧した排気ガス中IPA(Isopropyl alcohol)除去処理技術の開発

Author (4)： TANAKA SHIGERU (慶応大 理工) ,  NAGATA TOMOHIRO (慶応大 理工) ,  AKIYAMA TAKAYUKI (慶応大 理工) ,  SHIBA RIKA (慶応大 理工)
Material： 空気清浄  (コンタミネーションコントロール)
Volume： 51  Issue： 6  Page： 4-8  Publication year： Mar. 31, 2014 
JST Material Number： G0779A  ISSN： 0023-5032  CODEN： KUSEBF  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： semiconductor industry ,  drying ,  *exhaust gas treatment ,  absorbent ,  ether ,  vapor-liquid contact ,  packed tower ,  ratio ,  aliphatic alcohol ,  glycol ethers ,  *waste treatment
Semi thesaurus term： glycol ethers ,  トリプロピレングリコールメチルエーテル ,  elimination rate

JST classification (3)： Exhaust gas treatment technology in general  (SC04010L) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Absorption  (XD02090P)

Substance index (1)： 2-Propanol

Reference (9)：

• WHO : Indoor air quality, Organic Pollutants, Euro Reports and Studies 111, 1987
• VOC排出抑制検討会:環境と測定技術、31、2、33-54、2004
• 環境省:揮発性有機化合物排出インベントリ作成に関する調査業務報告書、2011年度 http://www.env.go.jp/air/osen/voc/inventory/rep_h2403/02em.pdf
• 小川洋輝ら:はじめての半導体洗浄技術、82-83、2002
• (株)イノアックコーポレーション:SPONGE21.com:http://www.sponge21.com

Terms in the title (5)： 噴霧 ,  排気ガス ,  IPA ,  除去処理 ,  開発