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J-GLOBAL ID：201402291990604203   Reference number：14A0117004

複合硬質膜の開発動向と膜特性評価法の現状 複合硬質膜の新しい特性評価法-MSE:マイクロスラリージェットエロージョン試験-

Author (3)： IWAI YOSHIRO (福井大) ,  MATSUBARA TOORU (パルメソ) ,  KATSUMATA TSUTOMU (パルメソ)
Material： トライボロジスト  (Journal of Japanese Society of Tribologists)
Volume： 59  Issue： 1  Page： 32-37  Publication year： Jan. 15, 2014 
JST Material Number： F0390A  ISSN： 0915-1168  CODEN： TORAEO  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *film ,  *DLC film ,  thin film ,  *characterization ,  micro structure ,  nanostructure ,  *multilayer film ,  composite structure ,  slurry ,  erosion corrosion ,  titanium compound ,  titanium carbide ,  mixed construction
Semi thesaurus term： *マイクロスラリージェットエロージョン法 ,  *bilayer film ,  hard thin layer ,  *hard film ,  titanium nitride

JST classification (3)： Thin films in general  (BK14010X) ,  Lubrication in general  (QB02010S) ,  Carbon and its compounds  (YB02060D)

Reference (15)：

• 1) K. L. RUTHERFORD & I. M. HUTCHINGS:A Micro-Abrasive Wear Test, with Particular Application to Coated Systems, Surf. Coat. Technol., 79 (1996) 231-239.
• 2) S. HOGMARK, S. JACOBSON & M. LARSSON:Design and Evaluation of Tribological Coatings, Wear, 246 (2000) 20-33.
• 3) 岩井・松原:セラミック硬質薄膜の特性評価,トライボロジスト,55,8 (2010) 556-562.
• 4) I. M. HUTCHINGS:Abrasive and Erosive Wear Tests for Thin Coatings : A Unified Approach, Tribol. Int., 31 (1998) 5-15.
• 5) ASTM G76-07 Standard Test Method for Conducting Erosion Tests by Solid Particle Impingement Using Gas Jets, ASTM Standard Test Methods (2007).

Terms in the title (8)： 硬質膜 ,  開発 ,  動向 ,  膜特性 ,  評価法 ,  現状 ,  特性評価 ,  試験