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J-GLOBAL ID：201403000084505272

X線検査方法及びX線検査装置

Inventor： 梅原 康敏
Applicant, Patent owner： 東京エレクトロン株式会社
Agent (2)： 伊東 忠重 ,  伊東 忠彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012153610
Publication number (International publication number)：2014016239
Application date： Jul. 09, 2012
Publication date： Jan. 30, 2014
Summary：

【課題】非破壊で検査対象の欠陥検査を高速に行うことが可能なX線検査方法及びX線検査装置を提供すること。【解決手段】検査対象のX線画像を取得するX線画像取得ステップと、前記検査対象の形状が異なる複数のシミュレーションX線画像から、前記検査対象の形状が最も近いシミュレーションX線画像を取得するシミュレーションX線画像取得ステップと、前記X線画像と前記X線画像取得ステップにより取得された前記シミュレーションX線画像との差分に基づき、前記検査対象の欠陥を検出する欠陥検出ステップとを有するX線検査方法。【選択図】図8

Claim (excerpt)：

検査対象のX線画像を取得するX線画像取得ステップと、 前記検査対象の形状が異なる複数のシミュレーションX線画像から、前記検査対象の形状が最も近いシミュレーションX線画像を取得するシミュレーションX線画像取得ステップと、 前記X線画像と前記X線画像取得ステップにより取得された前記シミュレーションX線画像との差分に基づき、前記検査対象の欠陥を検出する欠陥検出ステップとを有する ことを特徴とするX線検査方法。

IPC (1)：

G01N 23/04

FI (1)：

G01N23/04

F-Term (6)：

2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001HA13 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11