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J-GLOBAL ID：201403005383180039

形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、及び形状測定プログラム

Inventor： 鈴木 康夫 ,  中島 康晴
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (2)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012237859
Publication number (International publication number)：2014089062
Application date： Oct. 29, 2012
Publication date： May. 15, 2014
Summary：

【課題】三次元形状の測定精度が低下する程度を低減することができる。【解決手段】形状測定装置は、測定光を生成する測定光生成部と、生成された測定光を反射する反射部と、反射部を共振によって揺動させることにより、反射部が反射した測定光を測定対象の測定領域に照射させる揺動部と、測定光が照射された測定領域からの反射光を検出する検出部と、検出された反射光に基づいて、測定対象の三次元形状を測定する測定部と、揺動する反射部の揺動状態を監視する監視部と、監視された揺動状態に基づいて、測定光が測定領域において所定の状態となるように測定光生成部と揺動部との少なくとも一方を制御する制御部とを備える。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

測定光を生成する測定光生成部と、 生成された前記測定光を反射する反射部と、 前記反射部を共振によって揺動させることにより、前記反射部が反射した前記測定光を測定対象の測定領域に照射させる揺動部と、 前記測定光が照射された前記測定領域からの反射光を検出する検出部と、 検出された前記反射光に基づいて、前記測定対象の三次元形状を測定する測定部と、 揺動する前記反射部の揺動状態を監視する監視部と、 監視された前記揺動状態に基づいて、前記測定光が前記測定領域において所定の状態となるように前記測定光生成部と前記揺動部との少なくとも一方を制御する制御部と、 を備える形状測定装置。

IPC (1)：

G01B 11/25

FI (1)：

G01B11/25 H

F-Term (34)：

2F065AA53 ,  2F065AA54 ,  2F065CC14 ,  2F065DD04 ,  2F065DD08 ,  2F065DD11 ,  2F065DD15 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065GG04 ,  2F065GG06 ,  2F065GG12 ,  2F065GG16 ,  2F065GG18 ,  2F065GG22 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL08 ,  2F065LL13 ,  2F065MM16 ,  2F065NN02 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ30 ,  2F065RR06 ,  2F065SS03 ,  2F065SS13 ,  2F065SS15 ,  2F065TT07 ,  2F065TT08