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J-GLOBAL ID：201403007323880166

変位検出装置及びスケール

Inventor：
田宮 英明

About 田宮 英明


Applicant, Patent owner：
DMG森精機株式会社

About DMG森精機株式会社


Agent (1)： 特許業務法人信友国際特許事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013224094
Publication number (International publication number)：2014134532
Application date： Oct. 29, 2013
Publication date： Jul. 24, 2014
Summary：
【課題】 原点マークや原点信号に制限されることなく計測範囲の向上を図ることができる変位検出装置を提供する。【解決手段】変位検出装置1は、スケール2と、第1の変位検出部9と、第2の変位検出部10と、第1の変位演算部4と、第2の変位演算部5と、比較部6と、絶対位置演算部7と、を備えている。スケール2は、計測方向X1に沿ってピッチの間隔tが2次以上の次数の多項式に近似可能に変化する目盛S1を有する。比較部6は、第1の変位検出部9が配置された位置における単位変位当たりの、第1の相対位置情報と第2の相対位置情報との差分を算出する。そして、絶対位置演算部7は、絶対位置情報と、第1の相対位置情報又は第2の相対位置情報のうち少なくとも一方の相対位置情報に基づいてスケール2に対する計測方向X1の絶対位置を演算し、出力する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
計測方向に沿ってピッチの間隔が2次以上の次数の多項式に近似可能、又はランダムに変化する目盛を有するスケールと、 前記スケールに対向して配置され、前記計測方向の変位を検出する第1の変位検出部と、 前記スケールに対向し、かつ前記第1の変位検出部から前記計測方向に所定の間隔を開けて配置され、前記計測方向の変位を検出する第2の変位検出部と、 前記第1の変位検出部が検出した前記計測方向の変位に基づいて第1の相対位置情報を出力する第1の変位演算部と、 前記第2の変位検出部が検出した前記計測方向の変位に基づいて第2の相対位置情報を出力する第2の変位演算部と、 前記第1の変位検出部が配置された位置における単位変位当たりの、前記第1の相対位置情報と前記第2の相対位置情報との差分を算出すると共に算出した前記差分に基づいて前記スケールの前記計測方向に対する絶対位置情報を算出し、出力する比較部と、 前記比較部からの前記絶対位置情報と、前記第1の相対位置情報又は前記第2の相対位置情報のうち少なくとも一方の相対位置情報に基づいて前記スケールに対する前記計測方向の絶対位置を演算し、出力する絶対位置演算部と、 を備えたことを特徴とする変位検出装置。
IPC (1)：
G01D 5/38
FI (1)：
G01D5/38 G
F-Term (28)：
2F103BA32 ,  2F103BA37 ,  2F103BA41 ,  2F103CA01 ,  2F103CA03 ,  2F103CA04 ,  2F103CA08 ,  2F103DA02 ,  2F103DA04 ,  2F103DA11 ,  2F103DA12 ,  2F103EA04 ,  2F103EA15 ,  2F103EA19 ,  2F103EA20 ,  2F103EB02 ,  2F103EB06 ,  2F103EB08 ,  2F103EB16 ,  2F103EC01 ,  2F103EC08 ,  2F103EC11 ,  2F103EC12 ,  2F103EC13 ,  2F103EC15 ,  2F103ED06 ,  2F103FA17 ,  2F103FA18
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
  • 光学式エンコーダ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2006-000271   Applicant：富士電機ホールディングス株式会社
  • 光学式基準位置検出型エンコーダ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2010-090833   Applicant：株式会社ミツトヨ
  • 特開昭61-251715
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Cited by examiner (4)
  • 光学式エンコーダ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2006-000271   Applicant：富士電機ホールディングス株式会社
  • 光学式基準位置検出型エンコーダ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2010-090833   Applicant：株式会社ミツトヨ
  • 特開昭61-251715
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