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J-GLOBAL ID：201403012080410771

レーザー光源装置

Inventor：
宮田 薫

About 宮田 薫


Applicant, Patent owner：
株式会社ミツトヨ

About 株式会社ミツトヨ


Agent (1)： 特許業務法人樹之下知的財産事務所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012239394
Publication number (International publication number)：2014090092
Application date： Oct. 30, 2012
Publication date： May. 15, 2014
Summary：
【課題】簡素な構成で、レーザー周波数を広範囲かつ高分解能で制御可能なレーザー光源装置を提供する。【解決手段】レーザー光源装置は、共振器の共振器長を変化させてレーザー光の発振周波数を変化させる駆動アクチュエーターと、駆動アクチュエーターを制御するオフセットレーザー制御手段32と、を備え、オフセットレーザー制御手段32は、レーザー光の発振周波数を広範囲に亘って走査する粗動信号を出力する粗動制御部46と、レーザー光の発振周波数を微小変化させる微動信号を出力する微動制御部44と、を備え、粗動信号及び微動信号を加算した制御信号を駆動アクチュエーターに印加する。【選択図】図3
Claim (excerpt)：
共振器の共振器長を変化させてレーザー光の発振周波数を変化させる周波数変更手段と、 前記周波数変更手段を制御する制御手段と、を備え、 前記制御手段は、前記レーザー光の発振周波数を広範囲に亘って走査する粗動信号を出力する粗動制御部と、前記レーザー光の発振周波数を微小変化させる微動信号を出力する微動制御部と、を備え、前記粗動信号及び前記微動信号を加算した制御信号を前記周波数変更手段に印加する ことを特徴とするレーザー光源装置。
IPC (1)：
H01S 3/139
FI (1)：
H01S3/139
F-Term (6)：
5F172NN24 ,  5F172NP04 ,  5F172NP18 ,  5F172NQ09 ,  5F172NQ30 ,  5F172NQ43
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
  • 特開昭60-043887
  • 特開平4-141707
  • ファブリ・ペロー共振器用中空構造体
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-115758   Applicant：アジレント・テクノロジーズ・インク
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