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J-GLOBAL ID：201403015142972347

感光性組成物

Inventor：
尾形 和樹

About 尾形 和樹


Applicant, Patent owner：
三洋化成工業株式会社

About 三洋化成工業株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012201017
Publication number (International publication number)：2014056122
Application date： Sep. 12, 2012
Publication date： Mar. 27, 2014
Summary：
【課題】 弾性回復特性と密着性を両立し、かつ高感度な感光性組成物を提供することを目的とする。【解決手段】 ラジカル開始剤(A)、酸発生剤(B)及び塩基発生剤(C)の内の少なくとも1つが活性光線の照射により活性種(H)を発生し、該活性種(H)がラジカル開始剤(A)、酸発生剤(B)又は塩基発生剤(C)と反応して新たな活性種(I)を生成して該新たな活性種(I)による重合性物質(D)及び金属元素含有化合物(E)の重合反応が進行し、該活性種(H)又は(I)が酸又は塩基であり、着色剤、金属酸化物粉末及び金属粉末のいずれもを実質的に含有せず、重合性物質(D)が親水性樹脂(D1)及び多官能(メタ)アクリレートモノマー(D2)含有し、分子内に少なくとも1個のアルコキシ基を有する特定組成の金属元素含化合物(E)を含有することを特徴とする感光性組成物を用いる。【選択図】 なし
Claim (excerpt)：
下記(1)〜(4)を含有する感光性組成物であって、ラジカル開始剤(A)、酸発生剤(B)及び塩基発生剤(C)の内の少なくとも1つが活性光線の照射により活性種(H)を発生し、該活性種(H)がラジカル開始剤(A)、酸発生剤(B)又は塩基発生剤(C)と反応して新たな活性種(I)を生成して該新たな活性種(I)による重合性物質(D)及び必要により金属元素含有化合物(E)の重合反応が進行し、該活性種(H)又は(I)が酸又は塩基であり、重合性物質(D)が親水性樹脂(D1)及び多官能(メタ)アクリレートモノマー(D2)を含有し、着色剤、金属酸化物粉末及び金属粉末のいずれもを実質的に含有しないことを特徴とする感光性組成物。 (1)ラジカル開始剤(A) (2)酸発生剤(B)及び/又は塩基発生剤(C) (3)重合性物質(D) (4)下記一般式(1)で示される金属元素含有化合物(E)
IPC (5)：
G03F 7/029 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/027 ,  H01L 21/027
FI (5)：
G03F7/029 ,  G03F7/031 ,  G03F7/004 503Z ,  G03F7/027 502 ,  H01L21/30 502R
F-Term (21)：
2H125AC35 ,  2H125AC36 ,  2H125AC52 ,  2H125AC54 ,  2H125AC60 ,  2H125AD02 ,  2H125AD07 ,  2H125AD15 ,  2H125AF18P ,  2H125AF27P ,  2H125AF46P ,  2H125AF70P ,  2H125AG00P ,  2H125AN39P ,  2H125CA22 ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  2H125CD01P ,  2H125CD31 ,  2H125EA01P
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (11)
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