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J-GLOBAL ID：201403016365433819

荷電粒子線装置、及び収差補正方法

Inventor： 秋間 学尚 ,  吉田 高穂
Applicant, Patent owner： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
Agent (3)： 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012202216
Publication number (International publication number)：2014056788
Application date： Sep. 14, 2012
Publication date： Mar. 27, 2014
Summary：

【課題】収差測定ではフォーカスやビームの傾斜角を変えて複数枚取得された電子顕微鏡画像から収差の特徴量を抽出し収差の大きさと方向を表す収差係数を求める。しかし、収差が非常に大きい場合には電子顕微鏡画像が大きく歪むため、特徴量の抽出が困難になる。【解決手段】荷電粒子線源と、前記荷電粒子線源から放出された荷電粒子を試料に対して照射する荷電粒子光学系と、前記荷電粒子光学系の収差を補正する収差補正器と、前記荷電粒子光学系及び前記収差補正器を制御する制御部と、を備えた荷電粒子線装置において、前記荷電粒子光学系の焦点位置を変化させたロンチグラムを複数取得するスルーフォーカス撮影部と、前記取得されたロンチグラムを複数の局所領域に分割し、前記局所領域にて検出されたラインフォーカスに基づいて収差量を算出する収差量算出部とを備える。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

荷電粒子線源と、前記荷電粒子線源から放出された荷電粒子を試料に対して照射する荷電粒子光学系と、前記荷電粒子光学系の収差を補正する収差補正器と、前記荷電粒子光学系及び前記収差補正器を制御する制御部と、を備えた荷電粒子線装置において、 前記荷電粒子光学系の焦点位置を変化させたロンチグラムを複数取得するスルーフォーカス撮影部と、 前記取得されたロンチグラムを複数の局所領域に分割し、前記局所領域にて検出されたラインフォーカスに基づいて収差量を算出する収差量算出部と、を有することを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (3)：

H01J 37/153 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/22

FI (3)：

H01J37/153 A ,  H01J37/28 C ,  H01J37/22 501Z

F-Term (4)：

5C033HH01 ,  5C033HH05 ,  5C033HH08 ,  5C033SS07