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J-GLOBAL ID：201403019527228407

プラズマ光源及びプラズマ光発生方法

Inventor： 浅井 朋彦 ,  岸 香織 ,  板垣 宏知 ,  沼澤 廣斗 ,  寺嶋 悠紀
Applicant, Patent owner： 学校法人日本大学
Agent (1)： 生井 和平
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2011501691
Patent number：5515040
Application date： Mar. 01, 2010
Claim (excerpt)：

【請求項1】 光を放出するプラズマ光源であって、該プラズマ光源は、 内部導体と、内部導体に同軸状に配置され一端が開放される筒状の外部導体と、外部導体の周囲に巻かれるバイアスコイルと、内部導体と外部導体との間に電源を供給する電源回路と、をそれぞれ有するスフェロマックを生成する一対の磁化同軸ガンであって、一対の磁化同軸ガンの中心軸が一致し外部導体の開放端が対向するように配置される、一対の磁化同軸ガンと、 前記一対の磁化同軸ガンの外部導体の開放端がそれぞれ結合される対向する一対のガン結合開口部と、光を取り出す窓部とを有する磁束保持容器と、 を具備することを特徴とするプラズマ光源。

IPC (2)：

H05G 2/00 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (2)：

H05G 1/00 K ,  H01L 21/30 531 S

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 特開昭63-211598
  
• 同軸磁化プラズマ生成装置と同軸磁化プラズマ生成装置を用いた膜形成装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2005-131611   Applicant：学校法人日本大学

Article cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• スフェロマックプラズマ衝突時における真空紫外光強度分布