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J-GLOBAL ID：201403024569399140

X線検査装置、およびX線検査方法

Inventor： 安間 益男 ,  秋山 久 ,  井上 雅裕
Applicant, Patent owner： 株式会社トプコン
Agent (2)： 吉村 直樹 ,  宮尾 雅文
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012259163
Publication number (International publication number)：2014106113
Application date： Nov. 27, 2012
Publication date： Jun. 09, 2014
Summary：

【課題】簡単な処理で被測定物の空隙部の体積を高速に算出する。【解決手段】X線検査装置100は基板BのスルーホールHに充填された被測定物Sである銅充填部にX線を照射するX線源110と、被測定物Sの透過X線画像を取得するX線カメラ120と、透過X線像およびあらかじめ取得してある素材の厚さと透過X線のカウント数との関係、から被測定物の厚さ分布を推定する厚さ推定手段141と、推定された厚さ分布に基づいてあらかじめ定めた基準値より薄い箇所を空隙部Vに相当する箇所であると推定する空隙部推定手段142と、空隙部に相当する領域の輪郭形状を推定する空隙部形状推定手段143と、輪郭形状から前記空隙部の体積を算出する体積算出手段144と、充填率算出手段145と、被測定物Sを傾斜させる被測定物ステージ130と、傾斜前後の透過X線画像に基づいて空隙部の位置を推定する空隙部位置推定手段146と、を備える。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

既知の素材で定められた形状に形成された被測定物にX線を照射するX線源と、 前記被測定物の透過X線カウント数の分布に基づく透過X線画像を取得する透過X線像取得手段と、 取得された前記透過X線像、およびあらかじめ取得してある前記素材の厚さと透過X線のカウント数との関係、から前記被測定物の厚さ分布を推定する厚さ推定手段と、 推定した前記厚さ分布に基づいて、あらかじめ定めた基準値より薄い箇所を空隙部に相当する箇所であるとする空隙推定手段と、 推定した前記空隙部に相当する領域の輪郭形状を推定する空隙部形状推定手段と、 前記輪郭形状から前記空隙部の体積を算出する体積算出手段と、 被測定物が有すべき体積に対する測定された被測定物の体積の比率である充填率を求める充填率算出手段と、 を備えることを特徴とするX線検査装置。

IPC (2)：

G01B 15/02 ,  G01N 23/04

FI (2)：

G01B15/02 H ,  G01N23/04

F-Term (28)：

2F067AA27 ,  2F067AA28 ,  2F067AA58 ,  2F067CC00 ,  2F067CC14 ,  2F067CC15 ,  2F067DD05 ,  2F067HH04 ,  2F067JJ03 ,  2F067KK06 ,  2F067PP13 ,  2F067RR19 ,  2F067RR24 ,  2F067RR25 ,  2F067RR29 ,  2F067RR31 ,  2F067SS02 ,  2F067SS13 ,  2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA09 ,  2G001GA06 ,  2G001GA08 ,  2G001HA07 ,  2G001KA04 ,  2G001LA11 ,  2G001PA05