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J-GLOBAL ID：201403024922562344

機上測定方法及び測定装置

Inventor： 松原 厚 ,  山路 伊和夫 ,  河野 大輔 ,  小池 雄介
Applicant, Patent owner： 国立大学法人京都大学 ,  株式会社森精機製作所
Agent (2)： 村上 智司 ,  田中 健一
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2009168925
Publication number (International publication number)：2011020233
Patent number：5351639
Application date： Jul. 17, 2009
Publication date： Feb. 03, 2011
Claim (excerpt)：

【請求項1】 ワークを保持するワーク保持機構を備えたテーブルと、工具を保持する工具保持機構部と、前記テーブルと工具保持機構部とを平行移動させる第1軸方向、該第1軸方向と直交し、前記テーブルと工具保持機構部と離接させる方向の第2軸方向、並びに前記第1軸及び第2軸と直交する第3軸方向に前記テーブルと工具保持機構部とを相対移動させる送り機構部とを備えた工作機械において、該工作機械により加工されたワークの加工面形状を機上で測定する方法であって、 鏡面状の基準面を備えた基準ミラーを前記テーブル上に配置し、 前記ワークの加工面の変位を測定する第1のレーザ変位計、及び前記基準ミラーの基準面の変位を測定する第2のレーザ変位計を前記工具保持機構部に配置し、 前記第1軸方向と一致する走査方向に沿って前記第2軸方向に振動する正弦波軌跡を描くように、前記テーブルと前記工具保持機構部とを相対移動させ、且つ該相対移動の間に、前記第1のレーザ変位計によって前記加工面の変位を測定するとともに、前記第2のレーザ変位計によって前記基準面の変位を測定し、 得られた加工面の変位データ及び基準面の変位データを解析して、前記第1のレーザ変位計の感度を算出した後、算出した感度を基に、前記加工面の変位データを補正し、 ついで、補正後の加工面の変位データと前記基準面の変位データとの差分をとって、前記加工面の実形状を算出するようにしたことを特徴とする機上測定方法。

IPC (2)：

B23Q 17/20 ( 200 6.01) ,  G01B 11/24 ( 200 6.01)

FI (2)：

B23Q 17/20 A ,  G01B 11/24 A