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J-GLOBAL ID：201403029724542003

X線画像検査装置

Inventor： 三澤 雅樹 ,  林 和彦 ,  高橋 淳子 ,  小泉 和彦
Applicant, Patent owner： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  ソフテックス株式会社
Agent (4)： 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  伊坪 公一 ,  水谷 好男
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2009066584
Publication number (International publication number)：2010217098
Patent number：5522347
Application date： Mar. 18, 2009
Publication date： Sep. 30, 2010
Claim (excerpt)：

【請求項1】クロム、ニッケル、チタン、鉄のいずれか1つで形成されたX線ターゲットを有する反射型特性X線発生器と、 直接入射型冷却X線CCD検出器と、 前記反射型特性X線発生器と前記直接入射型冷却X線CCD検出器との間に配置された試料支持部材と、備え、 前記反射型特性X線発生器から発生したX線により試料を照射し、前記試料を透過したX線を前記直接入射型冷却X線CCD検出器により撮像することを特徴とするX線画像検査装置。

IPC (1)：

G01N 23/04 ( 200 6.01)

FI (1)：

G01N 23/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• X線撮像装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-391883   Applicant：株式会社島津製作所
• 斜出射X線回折測定用試料ホルダ及びこれを用いた斜出射X線回折測定装置、並びに、これを用いた斜出射X線回折測定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-325345   Applicant：キヤノン株式会社

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 「29p-WA-3 X線直接撮像型CCDの振る舞いと応用」