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J-GLOBAL ID:201403032298745687

レーザー装置用ビームライン、レーザー装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (2): 堀 城之 ,  前島 幸彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2013005131
Publication number (International publication number):2014138047
Application date: Jan. 16, 2013
Publication date: Jul. 28, 2014
Summary:
【課題】コントラストの良好な超短パルスレーザー光を、安価なシステムによって得る。【解決手段】レーザー光は、光路切替鏡27で偏向され、ビームライン10に入射する設定とされる。可飽和吸収体11を通過後のレーザー光は、反射鏡40を介してパルス圧縮器12に入射する。可飽和吸収体13を通過後のレーザー光は、パルス伸張器14に入射する。パルス伸張器14から出力されたレーザー光は、マルチパス増幅器15に入射する。この構成により、ビームライン10からは、これに入射したレーザー光における主パルスと時間的パルス幅、ピーク強度が同程度であり背景光が選択的に低減されたレーザー光が出力される。ビームライン10から出力されたレーザー光を、レーザー装置本体20における光路に再び戻すことができる。【選択図】図1
Claim (excerpt):
パルス状に発振されたレーザー光における時間的パルス幅を第1のパルス伸張器で伸張してから再生増幅器で増幅した後に、増幅後の前記レーザー光の時間的パルス幅を第1のパルス圧縮器で圧縮することによって、前記レーザー光におけるパルスのピーク強度を増幅して発振するレーザー装置本体に対して接続されるレーザー装置用ビームラインであって、 前記レーザー装置本体において前記第1のパルス伸張器の通過後でありかつ前記第1のパルス圧縮器の通過前における前記レーザー光が入力され、 入力された前記レーザー光の時間的パルス幅を圧縮する第2のパルス圧縮器と、 前記第2のパルス圧縮器を通過後の前記レーザー光を透過させる可飽和吸収体と、 前記可飽和吸収体を透過後の前記レーザー光の時間的パルス幅を伸張する第2のパルス伸張器と、 前記第2のパルス伸張器を通過後の前記レーザー光を増幅するマルチパス増幅器と、 を具備し、 前記マルチパス増幅器を通過後の前記レーザー光を、前記レーザー装置本体における前記第1のパルス伸張器の下流かつ前記第1のパルス圧縮器の上流における光路に出力することを特徴とするレーザー装置用ビームライン。
IPC (2):
H01S 3/10 ,  H01S 3/23
FI (2):
H01S3/10 Z ,  H01S3/23
F-Term (10):
5F172AE06 ,  5F172AF07 ,  5F172DD03 ,  5F172EE12 ,  5F172NN16 ,  5F172NN17 ,  5F172NN22 ,  5F172NN26 ,  5F172NR12 ,  5F172NR14

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