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J-GLOBAL ID：201403035903203904

試料ホルダー先端部、及び前記試料ホルダー先端部を有する試料ホルダー

Inventor： 宮崎 裕也
Applicant, Patent owner： 株式会社メルビル
Agent (1)： 坂野 博行
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013047033
Publication number (International publication number)：2014175171
Application date： Mar. 08, 2013
Publication date： Sep. 22, 2014
Summary：

【課題】 本発明は、観察視野のズレを少なくすることが可能な試料ホルダー先端部、及び前記試料ホルダー先端部を有する試料ホルダーを提供することを目的とする。【解決手段】 本発明の試料ホルダー先端部は、試料及び/又は試料メッシュ設置用カートリッジと、前記試料及び/又は試料メッシュを前記試料設置用カートリッジへ固定する第一の固定手段と、前記試料へ少なくとも2つの方向から引張り応力を与えることが可能な引張り応力付与手段と、を含むことを特徴とする。また、本発明の試料ホルダー先端部の好ましい実施態様において、前記試料及び/又は試料メッシュ設置用カートリッジは、試料ホルダーへ固定するための第二の固定手段を有することを特徴とする。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

試料及び/又は試料メッシュ設置用カートリッジと、前記試料及び/又は試料メッシュを前記設置用カートリッジへ固定する第一の固定手段と、前記試料へ少なくとも2つの方向から引張り応力を与えることが可能な引張り応力付与手段と、を含む試料ホルダー先端部。

IPC (1)：

H01J 37/20

FI (3)：

H01J37/20 F ,  H01J37/20 C ,  H01J37/20 A

F-Term (5)：

5C001AA01 ,  5C001AA03 ,  5C001BB04 ,  5C001CC03 ,  5C001DD02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開平4-019951