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J-GLOBAL ID：201403042288625891

回転対称形状の超精密形状測定方法及びその装置

Inventor： 遠藤 勝義 ,  東 保男
Applicant, Patent owner： 遠藤 勝義
Agent (1)： 柳野 隆生
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2009180408
Publication number (International publication number)：2011033490
Patent number：5434345
Application date： Aug. 03, 2009
Publication date： Feb. 17, 2011
Claim (excerpt)：

【請求項1】 光源と光検出器を設けた光学系と被測定物を保持した試料系とを備え、光源から出射された計測ビームが被測定物表面で反射され、その反射ビームを光検出器で検出して被測定物表面の任意計測点の法線ベクトルを計測することから形状を求める超精密形状測定方法において、前記被測定物の表面が回転対称形状で、主に球面若しくは球面に近似できる非球面であり、前記光検出器が受光面における反射ビームの変位を計測可能であり、前記光学系の光軸と被測定物の中心線を一致させて計測ビームと反射ビームとが重なるように初期設定した後、試料系又は光学系の一方のみを2軸1組のゴニオメータで駆動し且つ他方は固定して計測ビームで被測定物表面の測定範囲を走査し、反射ビームの角度変化からその点での法線ベクトルを算出し、計測点座標と法線ベクトルからフーリエ級数展開最小二乗法により表面形状を導出する回転対称形状の超精密形状測定方法であって、前記被測定物が凸面である場合には、試料系の2軸1組のゴニオメータで駆動する可動部に被測定物を保持し、2軸1組のゴニオメータのB軸に被測定物の中心線を一致させるとともに、ゴニオメータのC軸が被測定物の中心線上の曲率中心を通るように初期設定し、前記被測定物が凹面である場合には、光学系の2軸1組のゴニオメータで駆動する可動部に光源と光検出器を設け且つ2軸1組のゴニオメータのA軸とC軸が光検出器の受光面中心を通るように設定するとともに、光検出器の受光面中心が被測定物の中心線上の曲率中心を通るように初期設定してなることを特徴とする回転対称形状の超精密形状測定方法。

IPC (3)：

G01B 11/24 ( 200 6.01) ,  G01B 11/26 ( 200 6.01) ,  G01M 11/00 ( 200 6.01)

FI (3)：

G01B 11/24 A ,  G01B 11/26 Z ,  G01M 11/00 L

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 超精密形状測定方法及びその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-060997   Applicant：森勇藏
• 特許第2575128号
  
• 特公平7-001166
  
• 特開平3-225206