Pat

J-GLOBAL ID：201403044797844996

研磨パッド用補助板

Inventor： 鈴木 辰俊 ,  鈴木 英資 ,  鈴木 大介
Applicant, Patent owner： 東邦エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 守田 賢一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012224975
Publication number (International publication number)：2014076507
Application date： Oct. 10, 2012
Publication date： May. 01, 2014
Summary：

【課題】保管時や輸送時の温度変化による両面接着シートの皺発生が効果的に防止されて、常に良好な定盤への接合が確保される。【解決手段】板面の一部に検査窓21を設けた基板研磨用の研磨パッド2が一方の面に接合される研磨パッド用補助板1であって、補助板1に検査窓21と連通する開口11を形成するとともに、他方の面には当該補助板1を剥離可能に定盤に接合するための両面接着シート4を接合し、当該両面接着シート4には補助板1の開口11を囲んで、応力集中部を避けるように上記開口11の全周に亘って当該開口11よりも大きい開口41を形成する。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

板面の一部に検査窓を設けた基板研磨用の研磨パッドが一方の面に接合される研磨パッド用補助板であって、前記補助板に前記検査窓と連通する開口を形成するとともに、他方の面には当該補助板を剥離可能に定盤に接合するための両面接着シートを接合し、当該両面接着シートには前記補助板の開口を囲んで、応力集中部を避けるように少なくとも一部が前記補助板の開口よりも大きい開口を形成したことを特徴とする研磨パッド用補助板。

IPC (2)：

B24B 37/11 ,  B24B 37/013

FI (2)：

B24B37/00 C ,  B24B37/04 K

F-Term (13)：

3C058AA07 ,  3C058AA14 ,  3C058BA01 ,  3C058BA09 ,  3C058BB02 ,  3C058BC03 ,  3C058CB05 ,  5F057AA24 ,  5F057AA43 ,  5F057DA02 ,  5F057EB05 ,  5F057FA25 ,  5F057GA12