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J-GLOBAL ID：201403047630776556
光学干渉計、及びこれを用いたフーリエ変換型分光器
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2013244695
Patent number：5519067
Application date： Nov. 27, 2013
Summary：
【課題】
ウィッシュボーン型干渉計において、移動ミラーの回転走査時に発生する回転軸の軸ズレに起因して、干渉強度信号のデータ精度が低下するという問題があった。
【解決手段】
本発明では、回転走査時の軸ズレを補正する「軸ズレ補正機構」を備えたウィッシュボーン型干渉計を提供する。
上記の軸ズレ補正機構は、ラジアル補正ユニットとラジアル変位検出部とラジアル変位補正制御部とで構成されている。
ラジアル補正ユニットは、ラジアル変位センサと軸ズレ補正用の静電アクチュエータとから成り、
ラジアル変位検出部は、上記ラジアル変位センサからのセンサ信号により回転中心の軸ズレを検出し、その検出信号を上記のラジアル変位補正制御部に伝達し、上記のラジアル変位補正制御部は、上記の検出信号に基づいて前記の静電アクチュエータを介して、回転中心のラジアル方向の軸ズレを解消するように回転軸の位置を補正・制御する。
【選択図】図1
Claim (excerpt)：
【請求項1】 移動ミラーと、ビームスプリッターと、前記移動ミラーを回転走査するための回転走査機構を含むウィッシュボーン型干渉計において、
前記の回転走査機構中の回転中心のラジアル方向(径方向)の軸ズレを補正するための軸ズレ補正機構であって、
前記の軸ズレ補正機構は、ラジアル補正ユニットとラジアル変位検出部とラジアル変位補正制御部との三者から成る組み合わせの2式で構成されており、
前記のラジアル補正ユニットは、ラジアル変位センサと、これに隣接する静電アクチュエータとで構成されており、
前記ラジアル変位センサは、ラジアル方向の軸ズレを検知するための静電容量型の変位センサであり、固定センサ電極と、これに対向して適宜間隙を隔てて配設した移動センサ電極とから成り、さらに、前記の移動センサ電極は、前記の回転走査機構中の回転体部材に連結用部材を用いて連結されており、
また、ラジアル方向の軸ズレを正規位置に補正するための前記静電アクチュエータは、
前記回転中心から外側に向かってラジアル方向駆動力が発生する「ラジアル外向き静電アクチュエータ」と呼称する静電アクチュエータと、前記回転中心に向かってラジアル方向駆動力が発生する「ラジアル内向き静電アクチュエータ」と呼称する静電アクチュエータとの2種類の静電アクチュエータで構成され、
さらに、前記ラジアル変位センサに隣接して前記のラジアル外向き及び内向き静電アクチュエータを配設し、また、前記のラジアル外向き及び内向き静電アクチュエータの補正用移動電極を、前記の回転走査機構中の回転体部材に連結用部材を用いて連結し、
さらに、前記の各ラジアル変位センサの固定センサ電極を配置するにあたっては、
上記のラジアル変位センサの固定センサ電極を前記移動ミラーの回転軌道面上、又はこれと隣接・平行する回転軌道面上の2ケ所に任意の回転半径をもって配置し、
また、上記2個のラジアル変位センサの固定センサ電極の取り付け角(固定センサ電極と回転中心とを結ぶ2本の線分(レイアウト線)の成す角度)が大略90度となるように配置し、
さらには、前記のラジアル変位検出部は、上記ラジアル変位センサからのセンサ信号により回転中心の軸ズレを検出し、その検出信号を上記のラジアル変位補正制御部に伝達し、
上記のラジアル変位補正制御部は、上記の検出信号に基づいて前記ラジアル補正ユニット内の静電アクチュエータを介して、前記の回転中心のラジアル方向の軸ズレ変位を解消するように回転軸の位置を補正・制御することを特徴とする前記軸ズレ補正機構を備えたウィッシュボーン型干渉計。
IPC (2)：
G01B 9/02 ( 200 6.01)
, G01J 3/45 ( 200 6.01)
