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J-GLOBAL ID：201403049913854190

サファイアウェーハの加工方法

Inventor： 鈴木 稔
Applicant, Patent owner： 株式会社ディスコ
Agent (5)： 青木 宏義 ,  天田 昌行 ,  岡田 喜雅 ,  菅野 亨 ,  溝口 勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012275566
Publication number (International publication number)：2014120648
Application date： Dec. 18, 2012
Publication date： Jun. 30, 2014
Summary：

【課題】切削ブレードの異常摩耗及びデバイスの生産性の低下を防止しつつ、サファイアウェーハの外周縁を良好に加工すること。【解決手段】本発明のサファイアウェーハの加工方法は、サファイアウェーハ(W)の中心をチャックテーブル(2)の回転軸(82)に一致させるように保持する工程と、サファイアウェーハ(W)の外周縁に切削ブレード(31)を位置付ける工程と、切削ブレード(31)によりサファイアウェーハ(W)の外周縁に沿ってサファイアウェーハ(W)を断続的に切り込むことで、複数の切削痕(63)を連続して形成する工程とを有している。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

サファイアウェーハの外周縁を切削ブレードにより除去するサファイアウェーハの加工方法であって、 サファイアウェーハを保持する保持面と、該保持面に直交し該保持面の中心を通る回転軸とを有するチャックテーブルで、サファイアウェーハの中心を該回転軸に一致させてサファイアウェーハの裏面を保持する保持工程と、 該保持工程を実施した後に、該切削ブレードを該回転軸に直交する直線上のサファイアウェーハの外周縁に位置付ける位置付け工程と、 該位置付け工程を実施した後に、該切削ブレードによりサファイアウェーハの外周縁に沿ってサファイアウェーハを断続的に所定の深さ切り込むことで複数の切削痕を所定の角度間隔で形成する切削痕形成工程と、から構成され、 該所定の角度は隣接する該切削痕の両端同士が重なり合う角度であること、を特徴とするサファイアウェーハの加工方法。

IPC (1)：

H01L 21/304

FI (2)：

H01L21/304 601B ,  H01L21/304 622W

F-Term (7)：

5F057AA11 ,  5F057AA14 ,  5F057BA15 ,  5F057BB12 ,  5F057CA16 ,  5F057DA17 ,  5F057GA30