Pat

J-GLOBAL ID：201403050953981184

発光装置、露光装置、露光用マスク、および、トランスイルミネータ

Inventor： 二井 信行
Applicant, Patent owner： 学校法人東京電機大学 ,  株式会社安心堂
Agent (5)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  高橋 俊一 ,  伊藤 正和 ,  高松 俊雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012163866
Publication number (International publication number)：2014025984
Application date： Jul. 24, 2012
Publication date： Feb. 06, 2014
Summary：

【課題】小型かつ簡単な構成で、しかも、使用する上での所要時間の短縮を図ることができる発光装置、露光装置、露光用マスク、および、トランスイルミネータを提供することを課題とする。【解決手段】発光装置10は、装置筐体12内に収容され、紫外光を発するとともにグローブ22には紫外光吸収物質を非存在としたランプ16と、ランプ16からの紫外光を吸収して蛍光を発する蛍光体20と、を備え、蛍光体20からの蛍光を装置外方へ発する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

装置筐体内に収容され、紫外光を発するとともにグローブには紫外光を吸収する物質を非存在としたランプと、 前記ランプからの紫外光を吸収して蛍光を発する蛍光体と、 を備え、 前記蛍光体からの蛍光を装置外方へ発することを特徴とする発光装置。

IPC (1)：

G03F 7/20

FI (2)：

G03F7/20 501 ,  G03F7/20 511

F-Term (8)：

2H097CA03 ,  2H097CA05 ,  2H097CA06 ,  2H097CA12 ,  2H097CA14 ,  2H097GA45 ,  2H097LA01 ,  2H097LA09