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J-GLOBAL ID：201403065877366154

物理量検出システム、物理量検出方法および物理量検出プログラム

Inventor： 近藤 淳 ,  成島 彰洋
Applicant, Patent owner： 国立大学法人静岡大学
Agent (1)： 居藤 洋之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012193628
Publication number (International publication number)：2014048246
Application date： Sep. 03, 2012
Publication date： Mar. 17, 2014
Summary：

【課題】インピーダンス変化型センサにおける温度が変化した場合であっても正確な物理量を検出することができる表面弾性波を用いた物理量検出システム、物理量検出方法および物理量検出プログラムを提供する。【解決手段】物理量検出システム100は、センサモジュール110とホスト装置130とを備えている。センサモジュール110は、圧電基板112上に高周波電気信号と表面弾性波とを相互に変換する表面弾性波変換IDT116と、湿度センサ120が接続されて同湿度センサ120のインピーダンス変化に応じて表面弾性波の反射率が変化する表面弾性波反射IDT117とが互いに対向配置されている。ホスト装置130は、センサモジュール110からの応答信号を構成する高周波電気信号における位相変化を用いて湿度センサ120における検出湿度の温度補償を行う温度補償部132cおよび補償データ記憶部132bをそれぞれ備えている。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

圧電効果を示す圧電体で構成されるとともに表面弾性波を伝播可能な圧電基板と、 前記圧電基板上にて互いに対向配置された2つの第1櫛歯状電極を有して高周波電気信号と前記表面弾性波とを相互に変換する表面弾性波変換手段と、 検出対象から受ける物理量に応じてインピーダンスが変化するインピーダンス変化型センサと、 前記圧電基板上にて互いに対向配置された2つの第2櫛歯状電極を有するとともに少なくとも同2つの第2櫛歯状電極のうちの一方が前記インピーダンス変化型センサにおける一方の端子に接続されて前記表面弾性波変換手段によって励振された前記表面弾性波を反射する表面弾性波反射手段と、 前記表面弾性波変換手段にて変換された前記高周波電気信号の振幅を用いて前記物理量を特定する物理量特定手段と、 前記物理量特定手段にて前記物理量を特定する際に前記表面弾性波変換手段にて変換された前記高周波電気信号の位相変化を用いて前記物理量の温度補償を行う温度補償手段とを備えたことを特徴とする物理量検出システム。

IPC (3)：

G01D 21/02 ,  G01N 5/02 ,  H03H 9/25

FI (3)：

G01D21/02 ,  G01N5/02 A ,  H03H9/25 D

F-Term (19)：

2F076BA01 ,  2F076BD01 ,  2F076BD07 ,  2F076BD11 ,  2F076BD12 ,  2F076BD13 ,  2F076BD15 ,  2F076BD16 ,  2F076BE01 ,  2F076BE02 ,  5J097AA04 ,  5J097AA21 ,  5J097AA28 ,  5J097BB03 ,  5J097EE01 ,  5J097FF02 ,  5J097HB08 ,  5J097KK07 ,  5J097LL03