カーボンナノチューブの製造方法

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Applicant, Patent owner： ,
Agent (3)：三好秀和 , 高橋俊一 , 鈴木壯兵衞
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2010037412
Publication number (International publication number)：2011173743
Patent number：5552834
Application date： Feb. 23, 2010
Publication date： Sep. 08, 2011
Claim (excerpt)：

【請求項1】活性液面連続真空蒸着法により作製した金属微粒子を含む触媒溶液を基礎基板上に滴下し乾燥させ前記基礎基板上に金属微粒子層を備える基板を製造する工程と、前記基板をチャンバー内に配置し前記基板にプラズマCVD処理しカーボンナノチューブを製造する工程とを含み、前記カーボンナノチューブを製造する工程では、基板加熱温度(°C)を700°C〜800°C、水素流量を64〜96sccm、メタン流量を18〜22sccm、成長時間を9〜11分とすることを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。

IPC (1)：

C01B 31/02 ( 200 6.01)

FI (1)：

C01B 31/02 101 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

カーボンナノコイル製造用触媒及びその製造方法並びにカーボンナノコイル製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2003-018352 Applicant：独立行政法人科学技術振興機構, 大阪府, 大研化学工業株式会社, 大塚化学株式会社, 大陽東洋酸素株式会社, 日新電機株式会社
カーボンナノチューブ膜、層、ファブリック、リボン、素子及び製品を製造するために予備成形ナノチューブを使用する方法
Gazette classification：公表公報 Application number：特願2003-588004 Applicant：ナンテロ,インク.
合金微粒子コロイドの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2006-120263 Applicant：独立行政法人物質・材料研究機構

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