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J-GLOBAL ID:201403077299216665

エレクトレット及びその製造方法並びにエレクトレットを備える静電誘導型変換素子

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (3): 在原 元司 ,  清水 昇 ,  竹居 信利
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2009237419
Publication number (International publication number):2011087384
Patent number:5551914
Application date: Oct. 14, 2009
Publication date: Apr. 28, 2011
Claim (excerpt):
【請求項1】 単一の基材に形成され、所定の間隔以内の間隙を介して対向する、前記基材の表面に垂直な対向面と、 前記対向面に形成された絶縁材料層と、 前記対向する面の間に所定の電位差を印加しつつ前記間隙の一つの開口から軟X線を照射することで、前記絶縁材料層の表面付近に注入された電荷と、 を備え、 前記間隙の深さをh、前記間隙の間隔をg、前記対向する面に直交する方向における前記基材の幅をWとすると、g≦200μm、h>2g、W≧h、であることを特徴とするエレクトレット。
IPC (1):
H02N 1/00 ( 200 6.01)
FI (1):
H02N 1/00
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
Article cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

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