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J-GLOBAL ID：201403079682479370

測定装置、測定方法、およびプログラム

Inventor： 高地 伸夫 ,  森山 拓哉 ,  渡邉 広登 ,  山田 光晴 ,  檀 一平太 ,  續木 大介 ,  ルハムスレン エンクトゥル
Applicant, Patent owner： 株式会社トプコン ,  独立行政法人農業・食品産業技術総合研究機構
Agent (1)： 末成 幹生
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2009200923
Publication number (International publication number)：2011050504
Patent number：5354426
Application date： Aug. 31, 2009
Publication date： Mar. 17, 2011
Claim (excerpt)：

【請求項1】 対象物に接触または近接させた複数の測定用端子の検出信号に基づいて前記対象物の特性を測定し、かつ前記測定用端子の位置を測定する測定装置において、 前記測定用端子の位置を求めるために、前記測定用端子の周囲で所定の位置関係に配置された複数の位置マークを有するターゲットと、 前記ターゲットを少なくとも異なる2方向から撮影する撮影部と、 前記撮影部の撮影画像内で検出した複数の位置マークを、前記所定の位置関係を利用して前記測定用端子ごとのグループに分類し、前記複数の位置マークの三次元座標を計測する三次元座標計測部と、 前記三次元座標計測部で計測した複数の位置マークが含まれる仮想平面を測定用端子ごとに求め、前記仮想平面に法線を想定し、前記測定用端子の位置を前記法線方向に移動させることによって、前記測定用端子の対象物表面からの浮き度合いを補正するフロートオフセット補正部と、 を備えることを特徴とする測定装置。

IPC (3)：

A61B 5/1455 ( 200 6.01) ,  G01B 11/02 ( 200 6.01) ,  A61B 10/00 ( 200 6.01)

FI (3)：

A61B 5/14 322 ,  G01B 11/02 H ,  A61B 10/00 E