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J-GLOBAL ID：201403082103038024

オゾン水用温度計及びオゾン水生成装置

Inventor： 関口 重夫 ,  村田 和隆
Applicant, Patent owner： 日科ミクロン株式会社
Agent (2)： 荒船 博司 ,  荒船 良男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012173665
Publication number (International publication number)：2014032136
Application date： Aug. 06, 2012
Publication date： Feb. 20, 2014
Summary：

【課題】安価に製造でき、小型で容易に設置することができるオゾン水用温度計を提供することを目的としている。また、オゾン水用温度計を使用して、高濃度のオゾン水を生成することができるとともに、オゾン濃度の検出精度を上げることができるオゾン水生成装置を提供する。【解決手段】オゾン水用温度計30は、オゾン水に接触可能に設けられた金属棒31と、オゾン水と接触しないように金属棒31に設けられ、当該金属棒31の温度に対応した出力電圧を検出する温度センサ32と、オゾン水の温度と、出力電圧との関係が予め対応付けられており、オゾン水の温度と出力電圧との対応関係から、温度センサ32によって検出した出力電圧に対応するオゾン水の温度を算出する制御部33と、を備えている。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

オゾン水に接触可能に設けられた金属棒と、 前記オゾン水と接触しないように前記金属棒に設けられ、当該金属棒の温度に対応した出力電圧を検出する温度センサと、 前記オゾン水の温度と、前記出力電圧との関係が予め対応付けられており、前記オゾン水の温度と前記出力電圧との対応関係から、前記温度センサによって検出した出力電圧に対応する前記オゾン水の温度を算出する制御部と、を備えていることを特徴とするオゾン水用温度計。

IPC (1)：

G01K 7/00

FI (1)：

G01K7/00 381L

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 基板処理方法および基板処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-223706   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社

Cited by examiner (1)

• 基板処理方法および基板処理装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-223706   Applicant：大日本スクリーン製造株式会社