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J-GLOBAL ID:201403084064386640
静電誘導型電気機械変換素子およびナノピンセット
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
永井 冬紀
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2013108275
Publication number (International publication number):2014230397
Application date: May. 22, 2013
Publication date: Dec. 08, 2014
Summary:
【課題】静電容量および静電容量変化を向上させることができる静電型電気機械変換素子の提供。【解決手段】静電誘導型電気機械変換素子1は、複数の櫛歯電極部112を有する第1電極と、複数の櫛歯電極部112に対して隙間を介して歯合するように配設された複数の櫛歯電極部104を有する第2電極と、櫛歯電極部112と櫛歯電極部104との間の電場形成空間に配設され、比誘電率が1よりも大きな材料から成る複数の孤立櫛歯113と、第2電極の櫛歯電極部104と孤立櫛歯113とが相対変位するように、第1電極、第2電極および孤立櫛歯113の各々を固定支持または可動支持するベース部110と、を備える。【選択図】図1
Claim (excerpt):
複数の第1櫛歯電極部を有する第1電極と、
前記複数の第1櫛歯電極部に対して隙間を介して歯合するように配設された複数の第2櫛歯電極部を有する第2電極と、
前記第1櫛歯電極部と前記第2櫛歯電極部との間の電場形成空間に配設され、比誘電率が1よりも大きな材料から成る複数の誘電体部材と、
前記第1電極および/または前記第2電極と前記誘電体部材とが相対変位するように、前記第1電極、前記第2電極および前記誘電体部材の各々を固定支持または可動支持するベース部と、を備えることを特徴とする静電誘導型電気機械変換素子。
IPC (1):
FI (1):
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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静電式アクチユエータ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-175822
Applicant:富士電機株式会社
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ナノピンセット、把持力検出方法およびナノピンセットの駆動装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2006-107594
Applicant:国立大学法人香川大学, アオイ電子株式会社
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エレクトレット膜およびこれを用いた振動発電素子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2011-144605
Applicant:アオイ電子株式会社
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