多孔構造体、多孔構造体の製造方法およびガスセンサ

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：速水進治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013045669
Publication number (International publication number)：2014173947
Application date： Mar. 07, 2013
Publication date： Sep. 22, 2014
Summary：

【課題】基板上に流体の拡散性に優れた多孔体を設けた多孔構造体を提供する。【解決手段】本発明の多孔構造体100は、基板101と、基板101上に設けられた多孔体107と、を備える。基板101上に設けられた多孔体107は、隔壁部103と、隔壁部103に囲まれた空隙部105とを有する、逆オパール型のハニカム構造である。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

基板と、前記基板上に設けられた多孔体と、を備えた多孔構造体であって、前記基板上に設けられた前記多孔体は、隔壁部と、前記隔壁部に囲まれた空隙部とを有する、逆オパール型のハニカム構造である、多孔構造体。

IPC (2)：

G01N 27/12 , H01L 29/06

FI (2)：

G01N27/12 B , H01L29/06 601N

F-Term (27)：

2G046AA01 , 2G046AA24 , 2G046BA08 , 2G046BA09 , 2G046BB04 , 2G046BE01 , 2G046EA04 , 2G046FA01 , 2G046FB02 , 2G046FE02 , 2G046FE03 , 2G046FE09 , 2G046FE10 , 2G046FE11 , 2G046FE12 , 2G046FE15 , 2G046FE20 , 2G046FE21 , 2G046FE22 , 2G046FE25 , 2G046FE29 , 2G046FE31 , 2G046FE38 , 2G046FE39 , 2G046FE44 , 2G046FE46 , 2G046FE48

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

薄膜ガスセンサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2005-197246 Applicant：富士電機機器制御株式会社
ガスセンサの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-192518 Applicant：フイガロ技研株式会社
特開平3-233350