湾曲結晶の製造方法および湾曲結晶

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：杉村憲司 , 鈴木治 , 山口雄輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012147355
Publication number (International publication number)：2014009131
Application date： Jun. 29, 2012
Publication date： Jan. 20, 2014
Summary：

【課題】本発明は、所望の曲率を有する湾曲結晶を低コストで得ることのできる湾曲結晶の製造方法、および、所望の曲率を有する製造コストの低い湾曲結晶を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の湾曲結晶の製造方法は、結晶基板上に炭素系材料を直接蒸着して、前記結晶基板を湾曲させる工程を含むことを特徴とする。また、本発明の湾曲結晶は、上記の製造方法により製造されたことを特徴とするものである。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

結晶基板上に炭素系材料を直接蒸着して、前記結晶基板を湾曲させる工程を含むことを特徴とする、湾曲結晶の製造方法。

IPC (6)：

C30B 33/00 , H01L 21/314 , G21K 1/06 , G21K 1/00 , C23C 14/06 , C23C 16/27

FI (7)：

C30B33/00 , H01L21/314 A , G21K1/06 D , G21K1/06 C , G21K1/00 X , C23C14/06 F , C23C16/27

F-Term (27)：

4G077AA02 , 4G077AB10 , 4G077BA04 , 4G077BA05 , 4G077FJ02 , 4G077FJ06 , 4G077HA20 , 4K029BA34 , 4K029BB10 , 4K030AA09 , 4K030BA28 , 4K030CA04 , 4K030DA03 , 4K030FA03 , 5F058BA12 , 5F058BC14 , 5F058BD18 , 5F058BE04 , 5F058BF02 , 5F058BF05 , 5F058BF07 , 5F058BF11 , 5F058BF12 , 5F058BF18 , 5F058BF19 , 5F058BF26 , 5F058BJ01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

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Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-025646 Applicant：科学技術振興事業団
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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

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