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J-GLOBAL ID：201403089553433793

酸化物透明導電膜、およびそれを用いた光電変換素子、光検出素子

Inventor： 鯉田 崇 ,  藤原 裕之 ,  近藤 道雄
Applicant, Patent owner： 独立行政法人産業技術総合研究所
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2012205023
Publication number (International publication number)：2013229283
Patent number：5510849
Application date： Sep. 18, 2012
Publication date： Nov. 07, 2013
Claim (excerpt)：

【請求項1】 水素原子を含有する結晶質酸化物透明導電膜の水素原子含有量を1%以上10%以下の範囲内の任意の値とし、ホール効果測定による電子の移動度を70cm2/Vs以上とし、キャリア濃度を5×1020cm-3以下とし、波長400nm〜1200nmの範囲内の任意の波長における屈折率を1.5以上とし、比抵抗を5×10-4Ωcm以下の任意の値としたことを特徴とする酸化物透明導電膜。

IPC (6)：

H01B 5/14 ( 200 6.01) ,  H01L 31/04 ( 201 4.01) ,  H01L 31/06 ( 201 2.01) ,  H01L 31/10 ( 200 6.01) ,  H01M 14/00 ( 200 6.01) ,  H01B 13/00 ( 200 6.01)

FI (7)：

H01B 5/14 A ,  H01L 31/04 H ,  H01L 31/04 M ,  H01L 31/04 E ,  H01L 31/10 H ,  H01M 14/00 P ,  H01B 13/00 503 B