レーザープラズマスペクトルを用いた試料内の測定対象元素の定量分析方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：須藤浩 , 海田浩明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013258001
Publication number (International publication number)：2014119457
Application date： Dec. 13, 2013
Publication date： Jun. 30, 2014
Summary：

【課題】本発明は、レーザープラズマ分光法において、レーザープラズマスペクトルのピークが非常に近く重畳する場合にもその強度を計算することができ、また、分析対象元素の濃度の高い場合、優れた精度と再現性を有するピークを探す方法を提供するためのものである。【解決手段】本発明のレーザープラズマスペクトルを用いた試料内の測定対象元素の定量分析方法は、測定対象元素を含む試料にレーザービームを照射してプラズマを発生させ、プラズマから発生する分光スペクトルを得て、分光スペクトルで少なくとも1つの測定対象ピークを除外する領域の合わせ曲線を得て、分光スペクトルで合わせ曲線を除外して少なくとも1つの測定対象ピークが含まれる測定対象ピーク曲線を分離して得て、合わせ曲線と前記測定対象ピーク曲線で各々選択される特定波長のピーク強度を計算し、各々選択される特定波長のピーク強度の割合で測定対象元素の組成比率を得る。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

測定対象元素を含む試料にレーザービームを照射してプラズマを発生させ、前記プラズマから発生する分光スペクトルを得るステップと、前記分光スペクトルで、少なくとも1つの測定対象ピークを除外する領域の合わせ曲線を得るステップと、前記分光スペクトルで、前記合わせ曲線を除外して前記少なくとも1つの測定対象ピークが含まれる測定対象ピーク曲線を分離して得るステップと、前記合わせ曲線と前記測定対象ピーク曲線で、各々選択される特定波長のピーク強度を計算するステップと、前記各々選択される特定波長のピーク強度を用いて、前記測定対象元素の組成比率を得るステップと、を含むことを特徴とする、レーザープラズマスペクトルを用いた試料内の測定対象元素の定量分析方法。

IPC (1)：

G01N 21/63

FI (1)：

G01N21/63 Z

F-Term (8)：

2G043AA01 , 2G043BA01 , 2G043EA10 , 2G043FA06 , 2G043JA01 , 2G043KA03 , 2G043NA01 , 2G043NA11

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

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Gazette classification：公表公報 Application number：特願2001-536563 Applicant：コーニングインコーポレイテッド
特開昭62-233744
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Gazette classification：公表公報 Application number：特願2011-525133 Applicant：オプトポインコーポレーテッドディー/ビー/エーセンタイスコーポレーション

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