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J-GLOBAL ID:201403093063136003
液中電位計測装置、及び、原子間力顕微鏡
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
新居 広守
Gazette classification:特許公報
Application number (International application number):2012541707
Patent number:5594795
Application date: Jul. 29, 2011
Claim (excerpt):
【請求項1】 液中の試料の表面電位を計測する液中電位計測装置であって、
電極と、
前記電極と、前記試料との間の静電気力に対応付けられた電圧を出力する静電気力計測部と、
前記電極と、前記試料との間に交流電圧を印加する交流電源と、
前記静電気力計測部によって出力される電圧に含まれる特定の周波数成分の信号を検出し、検出された信号に対応する値を出力する信号検出部と、
前記信号検出部により出力された値から前記試料の表面電位を算出し、算出した前記表面電位を出力する電位算出部とを備えており、
前記交流電源が出力する交流電圧の周波数は、10kHz以上であり、
前記信号検出部は、(1)前記静電気力計測部によって出力される電圧のうち、前記交流電源が出力する交流電圧の周波数と同じ周波数の周波数成分の大きさと、(2)前記静電気力計測部によって出力される電圧のうち、前記交流電源が出力する交流電圧の周波数の2倍の周波数の周波数成分の大きさと、(3)前記静電気力計測部によって出力される電圧に含まれる周波数成分であって、前記交流電源が出力する交流電圧の周波数と同じ周波数の周波数成分のうち、前記交流電源が出力する交流電圧と同位相の成分とを出力する
液中電位計測装置。
IPC (2):
G01Q 60/30 ( 201 0.01)
, G01Q 30/14 ( 201 0.01)
FI (2):
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (2)
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特定物質観察装置及び特定物質観察方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2006-026736
Applicant:セイコーインスツル株式会社
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走査プローブ顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願2008-233082
Applicant:日本電子株式会社
Article cited by the Patent:
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