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J-GLOBAL ID：201403095207746378

ポジ型感光性組成物

Inventor： 木村 佑希
Applicant, Patent owner： JNC株式会社
Agent (4)： 川口 嘉之 ,  佐貫 伸一 ,  丹羽 武司 ,  菅家 博英
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2012207183
Publication number (International publication number)：2014062978
Application date： Sep. 20, 2012
Publication date： Apr. 10, 2014
Summary：

【課題】無機基材への密着性、高感度、透明性、耐熱性に優れるアルカリ現像可能な透明膜の製造に用いるポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】アルコキシシラン構造を有するラジカル重合性化合物(a1)、カルボキシルまたはヒドロキシフェニルを有するラジカル重合性化合物(a2)、その他のラジカル重合性化合物(a3)及び下記一般式(III)で表される化合物(a4)を反応させて得られる有機無機ハイブリッドポリマー(A)と、ナフトキノンジアジド(B)と、有機溶媒(C)とを含むポジ型感光性組成物。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

下記一般式(I)及び/または(II)で表されるラジカル重合性化合物(a1)、カルボキシルまたはヒドロキシフェニルを有するラジカル重合性化合物(a2)、その他のラジカル重合性化合物(a3)及び下記一般式(III)で表される化合物(a4)を反応させて得られる有機無機ハイブリッドポリマー(A)と、ナフトキノンジアジド(B)と、有機溶媒(C)とを含むポジ型感光性組成物。

IPC (5)：

G03F 7/075 ,  G03F 7/023 ,  G03F 7/004 ,  C08G 77/442 ,  H01L 21/027

FI (5)：

G03F7/075 521 ,  G03F7/023 ,  G03F7/004 502 ,  C08G77/442 ,  H01L21/30 502R

F-Term (41)：

2H125AE12P ,  2H125AE13P ,  2H125AF05P ,  2H125AM22P ,  2H125AM23P ,  2H125AM32P ,  2H125AM39P ,  2H125AN36P ,  2H125BA33P ,  2H125CA11 ,  2H125CB05 ,  2H125CC03 ,  2H125CC21 ,  4J246AA03 ,  4J246AB15 ,  4J246BA12X ,  4J246BA120 ,  4J246BB02X ,  4J246BB020 ,  4J246BB022 ,  4J246CA24E ,  4J246CA24X ,  4J246CA240 ,  4J246CA40E ,  4J246CA40X ,  4J246CA400 ,  4J246CA68X ,  4J246CA680 ,  4J246EA03 ,  4J246EA05 ,  4J246FA071 ,  4J246FA121 ,  4J246FA131 ,  4J246FA371 ,  4J246FA372 ,  4J246FA461 ,  4J246FA79 ,  4J246FB081 ,  4J246FD10 ,  4J246FE40 ,  4J246HA15