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J-GLOBAL ID：201403096069848586
欠陥検出装置、欠陥検出方法および欠陥検出プログラム
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (7)：
深見 久郎
, 森田 俊雄
, 仲村 義平
, 堀井 豊
, 野田 久登
, 酒井 將行
, 荒川 伸夫
Gazette classification：特許公報
Application number (International application number)：2009048114
Publication number (International publication number)：2010203845
Patent number：5359377
Application date： Mar. 02, 2009
Publication date： Sep. 16, 2010
Claim (excerpt)：
【請求項1】 欠陥を含まない学習画像から取得された学習結果に基づいて検査画像における欠陥を検出する欠陥検出装置であって、
前記検査画像に設定された第1の評価領域を包含し、かつ互いに大きさの異なる複数の部分領域それぞれの画像情報を抽出する手段と、
前記検査画像から抽出される前記画像情報の各々から、前記部分領域の大きさ毎に検査画像ベクトルを生成する手段と、
前記部分領域の大きさ毎の検査画像ベクトルの各々について、対応の固有空間との間の距離を算出する手段と、
予め定められた判別関数を参照して、前記部分領域の大きさ毎の前記距離を要素とする第1の応答ベクトルに基づいて、前記第1の評価領域における欠陥の有無を判断する手段とを備える、欠陥検出装置。
IPC (1)：
FI (1)：
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