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J-GLOBAL ID：201403096341203999

圧力センサ

Inventor： 小椋 真悟
Applicant, Patent owner： 株式会社フジクラ
Agent (1)： とこしえ特許業務法人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013109613
Publication number (International publication number)：2014228454
Application date： May. 24, 2013
Publication date： Dec. 08, 2014
Summary：

【課題】押圧を高精度に検出することが可能な圧力センサを提供する。【解決手段】圧力センサ1は、薄膜トランジスタ30と、薄膜トランジスタ30に電気的に接続された歪みゲージ40と、を有する感圧セル20を少なくとも一つ備え、歪みゲージ40は、薄膜トランジスタ30の上側又は下側に設けられている。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタに電気的に接続された歪みゲージと、を有する感圧セルを少なくとも一つ備え、 前記歪みゲージは、前記薄膜トランジスタの上側又は下側に設けられていることを特徴とする圧力センサ。

IPC (2)：

G01L 1/22 ,  G01L 5/00

FI (2)：

G01L1/22 M ,  G01L5/00 101Z

F-Term (5)：

2F049CA07 ,  2F049CA11 ,  2F049DA04 ,  2F051AB09 ,  2F051BA07