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J-GLOBAL ID：201403099878989858

圧力センサ

Inventor： 内山 武 ,  大海 学 ,  篠原 陽子
Applicant, Patent owner： セイコーインスツル株式会社
Agent (3)： 志賀 正武 ,  鈴木 慎吾 ,  西澤 和純
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2013208424
Publication number (International publication number)：2014089183
Application date： Oct. 03, 2013
Publication date： May. 15, 2014
Summary：

【課題】圧力変動の検出を精度良く行うことができると共に、検出できる下限周波数を下げることができ、且つ低周波帯域の圧力変動を感度良く検出すること。【解決手段】キャビティと、該キャビティの内部と外部とを連通する連通開口11と、が形成されたセンサ本体3と、先端部4bが自由端とされると共に基端部4aがセンサ本体に片持ち状に支持された状態で連通開口を塞ぐように配設され、キャビティの内部と外部との圧力差に応じて撓み変形する複数のレバー片4A、4Bと、複数のレバー片のうち、少なくともいずれか1つのレバー片の変位を測定する変位測定部5と、を備え、複数のレバー片は、それぞれの先端部同士が所定のギャップ12をあけて向かい合うように配設されている圧力センサ1を提供する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

圧力変動を検出する圧力センサであって、 キャビティと、該キャビティの内部と外部とを連通する連通開口と、が形成されたセンサ本体と、 先端部が自由端とされると共に、基端部が前記センサ本体に片持ち状に支持された状態で前記連通開口を塞ぐように配設され、前記キャビティの内部と外部との圧力差に応じて撓み変形する複数のレバー片と、 複数の前記レバー片のうち、少なくともいずれか1つのレバー片の変位を測定する変位測定部と、を備え、 複数の前記レバー片は、それぞれの前記先端部同士が所定のギャップをあけて向かい合うように配設されていることを特徴とする圧力センサ。

IPC (2)：

G01L 9/00 ,  H01L 29/84

FI (2)：

G01L9/00 303A ,  H01L29/84 A

F-Term (25)：

2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC12 ,  2F055DD05 ,  2F055EE14 ,  2F055FF16 ,  2F055GG11 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA23 ,  4M112CA26 ,  4M112CA29 ,  4M112CA32 ,  4M112CA33 ,  4M112CA34 ,  4M112DA10 ,  4M112DA12 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112EA10 ,  4M112EA11 ,  4M112FA01

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 特開平4-208827