Art

J-GLOBAL ID：201502200066478350   Reference number：15A0959452

スマート社会に向けて進歩するMEMS技術 集積化技術やMEMS構造を用いた弾性波デバイスとその応用

Author (2)： KADOTA MICHIO (東北大 大学院工学研究科) ,  HIRANO HIDEKI (東北大 マイクロシステム融合研究開発セ)
Material： 金属  (Metals Sciece & Technology)
Volume： 85  Issue： 9  Page： 693-700  Publication year： Sep. 01, 2015 
JST Material Number： F0157A  ISSN： 0368-6337  CODEN： KNZKA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *MEMS ,  *surface acoustic wave ,  piezoelectric device ,  *surface acoustic wave device ,  acoustic resonator ,  frequency characteristic ,  decalcomania ,  SAW filter ,  band pass filter ,  titanate ,  barium compound ,  strontium compound ,  lithium compound ,  tantalate ,  intelligent material ,  fine patterning
Semi thesaurus term： Micro Electro Mechanical System device ,  smart material ,  Film Bulk Acoustic Resonator ,  integration ,  tunable optical filter ,  thin film technology

JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Surface acoustic wave devices  (NC03120T)

Terms in the title (5)： 社会 ,  MEMS ,  集積化 ,  弾性波 ,  応用