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J-GLOBAL ID：201502204657085124   Reference number：15A0828960

Development of a quick laboratory X-ray reflectometer for time-resolved observations

時間分解観測のための迅速な実験用X線反射計の開発

Author (6)： VOEGELI W. (Tokyo Gakugei Univ,, JPN) ,  KAMEZAWA C. (Tokyo Gakugei Univ,, JPN) ,  KAMEZAWA C. (KEK, JPN) ,  ARAKAWA E. (Tokyo Gakugei Univ,, JPN) ,  MATSUSHITA T. (KEK, JPN) ,  YANO Yohko F. (Kinki Univ., JPN)
Material： Program/Abstracts of ISSS (CD-ROM)  (Program/Abstracts. International Symposium on Surface Science (CD-ROM))
Volume： 7th  Page： ROMBUNNO.6PN-97  Publication year： 2014 
JST Material Number： L8395B  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *reflectometer ,  *X-ray reflection ,  experimental tool ,  time resolution ,  time resolved spectroscopy ,  reflectivity ,  wafer ,  *silicon ,  rapid analysis ,  crystal orientation
Semi thesaurus term： Si wafer ,  X-ray reflectivity

JST classification (1)： X-ray instruments and techniques  (BA02060D)

Terms in the title (5)： 分解 ,  観測 ,  実験 ,  X線反射 ,  開発