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J-GLOBAL ID：201502205338533268   Reference number：15A0625665

Characterization of Poly-Si Nanowire Array Embedded in ALD-Al₂O₃ by Photoacoustic Spectroscopy

ALD-Al₂O₃に埋め込まれた多結晶シリコンナノワイヤーの光音響分光による研究

Author (5)： MIYAZAKI Hisashi (Natl. Def. Acad.) ,  MORIMOTO Jun (Natl. Def. Acad.) ,  KATO Shinya (JST) ,  YAMAZAKI Tatsuya (TokyoTech) ,  MIYAJIMA Shinsuke (TokyoTech)
Material： 超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演予稿集  (超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム論文集)
Volume： 35th  Page： 37-38  Publication year： Dec. 03, 2014 
JST Material Number： L1419A  ISSN： 1348-8236  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *nanowire ,  polycrystal ,  *photoacoustic spectroscopy ,  alumina ,  solar cell ,  energy efficiency ,  etching ,  optical absorption ,  scattering ,  *optical property
Semi thesaurus term： *silicon nanowire ,  chemical etching ,  passivation layer

JST classification (2)： Other optical effects  (BM08040H) ,  Solar cell  (NC03084O)

Terms in the title (6)： ALD ,  Al2O3 ,  多結晶シリコン ,  ナノワイヤー ,  光音響分光 ,  研究