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J-GLOBAL ID：201502208699946281   Reference number：15A0952662

Nanoscopic mechanism of Cu precipitation at small-angle tilt boundaries in Si

Siにおける小角傾斜境界におけるCu析出のナノスコピック機構

Author (16)： OHNO Yutaka (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  INOUE Kaihei (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  KUTSUKAKE Kentaro (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  DEURA Momoko (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  OHSAWA Takayuki (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  YONENAGA Ichiro (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  YOSHIDA Hideto (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  TAKEDA Seiji (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  TANIGUCHI Ryo (Kwansei Gakuin Univ., Hyogo, JPN) ,  OTUBO Hideki (Kwansei Gakuin Univ., Hyogo, JPN) ,  NISHITANI Sigeto R. (Kwansei Gakuin Univ., Hyogo, JPN) ,  EBISAWA Naoki (Tohoku Univ., Ibaraki, JPN) ,  SHIMIZU Yasuo (Tohoku Univ., Ibaraki, JPN) ,  TAKAMIZAWA Hisashi (Tohoku Univ., Ibaraki, JPN) ,  INOUE Koji (Tohoku Univ., Ibaraki, JPN) ,  NAGAI Yasuyoshi (Tohoku Univ., Ibaraki, JPN)
Material： Physical Review. B. Condensed Matter and Materials Physics  (Physical Review. B. Condensed Matter)
Volume： 91  Issue： 23  Page： 235315.1-235315.5  Publication year： Jun. 2015 
JST Material Number： D0746A  ISSN： 1098-0121  CODEN： PRBMDO  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *Copper ,  precipitation (phase separation) ,  *grain boundary ,  *grain boundary precipitation ,  *silicon ,  Czochralski method ,  phase boundary ,  solid phase ,  phase (thermodynamics)
Semi thesaurus term： *小角傾斜境界 ,  *intergranular precipitation ,  *silicon ,  crystalline phase

JST classification (2)： Structural hardening phenomena  (WB01020C) ,  Lattice defects in semiconductors  (BK12040Q)

Terms in the title (4)： Si ,  境界 ,  Cu ,  析出